半导体纳米器件参数测试系统

仪器编号	2009027	规格型号	4200
生产制造商	Keithley-4200	产地国别	美国
收费标准	280元/小时	启用日期	10/03/2010
设备存放地址	厦门湖里区港中路1694号万翔商务中心2号楼南楼3层
实验室管理员	李雄滔	预约电话	0592-2529616
对外共享规定	请提前预约，最长预约使用30天
仪器状态	正常	预约仪器	请先登录

Keithley-4200半导体纳米器件参数测试系统用于实验室级的器件直流和脉冲参数测试、实时绘图与分析，适合于半导体器件，微电子器件，光电器件，纳米器件等测试，具有高精度和亚fA级的分辨率能力。

4200系统为器件和测试结构的直流参数和脉冲测试分析提供了一套完整的方案,它是完整的直流加脉冲的“交钥匙的解决方案”。它包括完整的嵌入式PC机，WindowsXP操作系统与大容量存储器。其自动记录，点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果。

4200系统的模块化结构配置非常灵活。系统最多可支持八个源—测量单元，包括最多4个具有1A/20W的大功率SMU。远端前置放大器可以有效地减少电缆所贡献的噪声，使得系统的测量能力达到0.1fA。

4200系统内置可变频4200C-V测量仪和全套CV分析软件，除可进行传统的C-V参数测量外，还可以对诸如氧化层厚度，栅面积、串联电阻、平带电容，电压、开启电压、搀杂浓度，少子寿命，可动电荷等工艺参数进行分析。

 

主要技术指标：

·       最大电压源：200V

·       电压源设定最小分辨率：5μV

·       最大电流源：100mA

·       电流源设定最小分辨率：1.5fA

·       电流测量范围：0.1fA-100mA

·       电流测量最小分辨率：0.1fA

·       测量单元A/D：22bit

·       电流前置放大器选件