探针台
| 仪器编号 | 2009034 | 规格型号 | PERFICTPL-S12 |
|---|---|---|---|
| 生产制造商 | 展芯科技 | 产地国别 | 中国 |
| 收费标准 | 260元/小时 | 启用日期 | 14/09/2010 |
| 设备存放地址 | 厦门湖里区港中路1694号万翔商务中心2号楼南楼3层 | ||
| 实验室管理员 | 李雄滔 | 预约电话 | 0592-2529616 |
| 对外共享规定 | 请提前预约，最长预约使用30天 | ||
| 仪器状态 | 正常 | 预约仪器 | 请先登录 |
PERFICTPL-S12探针台配备了12英寸载物台，可进行最大12英寸的晶圆测试。配有屏蔽箱和防震桌，具有极高的测试稳定性，同时还具备激光修正能力。载物台具有加热功能，温度可达到300摄氏度，具备水冷功能。高性能的探针座漏电流测量精度可达100fA，低电容测试科达0.1pF。
主要技术指标：
● 12寸载物台，载物台和平台平整度<=5micron，具备激光修正能力
● 载物台步进精度：0.1微米，往返精度：0.5um，PLIC软件控制
● 载物台可以360度旋转，带有细微调节机构，精度0.1度，带有锁死功能
● 平台可以电动升降25毫米，升降精度1um，采用PLIC软件控制
● 长工作距离显微镜
● 2X：工作距离34.6mm
● 10X：工作距离34mm
● 20X：工作距离31mm
● NUV物镜：50X（可透过355nm紫外光）
● NUV物镜：100X（可透过355nm紫外光）
● 光学倍率：40X-2000X
● 四个电控探针座，步进精度0.2um，往返精度0.5um，PLIC软件控制
● 配合屏蔽箱漏电流精度可达100FA，低电容测试0.1PF
● 12寸加热台卡盘，最高温度300摄氏度，精度为0.1摄氏度，带有水冷装置
● YAG激光器
● NUV：355nm，可用于Polymide ，Kapton，Silicon，Nitride，SOG，SiliconDioxide
● GREEN：532nm，可用于Copper，Gold，PolySilicon，Aluminum，SiliconDioxide