扫描电镜

仪器编号 2009035 规格型号 VEGAIIEPH
生产制造商 TESCAN 产地国别 捷克
收费标准 200元/10分钟 启用日期 04/05/2012
设备存放地址 厦门湖里区港中路1694号万翔商务中心2号楼南楼3层
实验室管理员 李雄滔 预约电话 0592-2529616
对外共享规定 请提前预约,最长预约使用30天
仪器状态 正常 预约仪器 请先登录

VEGA II EPH扫描电子显微镜采用钨灯丝电子扫描方式,放大倍数可达100万倍。采用电磁式电子枪自动对中技术,独创的低真空二次电子探测器(LVSTD),可以提供五种观察影像模式:分辨率模式、景深模式、视野模式、大视野模式,很方便寻找样品位置。

 

主要技术指标:

分辨率:高真空(二次电子3.0nm at 30kv,8.0nm at 3kv)

放大倍数:4 to 1000000×

真空系统:高真空<0.009Pa,低真空3~500Pa

加速电压:0.2kV to 30Kv

电子束电流:1pA 2uA

样品室内部尺寸:230mm

样品台行程:5轴马达控制

电制冷能谱仪

探头:Xflash 410M SDD Detector

分辨率:≤133 eV (MnKa, 100 000 cps)

元素探测范围:B(5) –U(92)


上一台: 探针台 下一台: 手动测试台
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